半导体高洁净度车间（Class 1级）特种粒子计数器（OPC）激光光散射超微米颗粒（0.03μm级）粒径与多维Mie散射反演矩阵

原始需求记录（尚未验证其中的精度、预测和标准声明）： 实际用途： 用于在线监测高真空晶圆腔体内部悬浮的极其微细的纳米粉尘数量。 核心解决痛点： 颗粒粒径如果进入米氏散射区，普通的几何光学公式彻底失效，会导致仪器把大颗粒误判为小颗粒从而错失空气过滤网破损的危险报警。工具输入折射率实部和虚部，直接求解出最精准的粒子尺寸分布图。